微小尺寸是一個(gè)企業(yè)正在迅猛發(fā)展的領(lǐng)域。隨著社會(huì)科學(xué)管理技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，對(duì)微小尺寸的測(cè)量工作要求我們?cè)絹?lái)越迫切。很多相距很遠(yuǎn)的科學(xué)教育部門，從機(jī)械工業(yè)、電子信息工業(yè)到生物系統(tǒng)工程建設(shè)以及經(jīng)濟(jì)環(huán)境資源保護(hù)等；從尖端科學(xué)的熱核反應(yīng)到日常學(xué)習(xí)生活中的化學(xué)纖維，都有自己微小尺寸的問(wèn)題。而要求進(jìn)行微小尺寸測(cè)量的物體，從尺寸、幾何形狀和作用方面來(lái)說(shuō)也是因?yàn)楦鞣N各樣的。

隨著科學(xué)技術(shù)和工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展，產(chǎn)品的小型化或小型化已成為一項(xiàng)重要的費(fèi)用，因此小尺寸的測(cè)量越來(lái)越多；學(xué)科也多樣化。 如細(xì)絲、小孔、小球、涂層厚度等。 面對(duì)這些測(cè)量任務(wù)，迫切需要提出新的測(cè)量原理和方法..

其平面度誤差的變化指的是在一個(gè)多世紀(jì)的平坦表面的量。按照規(guī)定，平整度誤差應(yīng)評(píng)估最小條件，即，評(píng)估是在參考平面，并且平整度誤差是表面與兩個(gè)平行的平面的最小距離之間包容實(shí)際距離。對(duì)于許多工件的，由于位置難以確定提前理想平面，因此，當(dāng)施加到測(cè)量轉(zhuǎn)印參考平面測(cè)量的原始數(shù)據(jù)，則再次向的方法來(lái)評(píng)估的最小條件，以在測(cè)得的平整度到達(dá)錯(cuò)誤平面。

平面度誤差的測(cè)量

平面度誤差的測(cè)量研究方法主要可分為企業(yè)直接測(cè)量法和間接測(cè)量法。直接測(cè)量法是將被測(cè)的實(shí)際工作表面與理想表面可以直接影響進(jìn)行分析比較，兩者相互之間的線值距離，即為該被測(cè)表面的直面度誤差值，間接測(cè)量法則是我們通過(guò)控制測(cè)量學(xué)生實(shí)際問(wèn)題表面上若干點(diǎn)相對(duì)測(cè)量基準(zhǔn)的高度差或傾斜角作為一個(gè)原始信息數(shù)據(jù)，然后再換算為以線值表示的平面度誤差。

在自然界中，一個(gè)小的液體表面可以作為一個(gè)自然平面，但要獲得這樣的平面，就必須克服氣流和振動(dòng)引起的波動(dòng)和表面張力引起的邊緣效應(yīng)；具有更嚴(yán)格的工作環(huán)境。

指示表的測(cè)量：將被測(cè)量的部分被支撐在板的平面上測(cè)量到從計(jì)量板輪廓的三點(diǎn)最遠(yuǎn)的距離。按照一定的分布測(cè)量表面測(cè)量。該表指示的最大和最小讀數(shù)之間的差值是平直度誤差的值。

用平晶測(cè)量：將平晶緊貼在被測(cè)平面上，由于企業(yè)產(chǎn)生的干涉條紋，經(jīng)過(guò)分析計(jì)算能力得到一個(gè)平面度誤差值。此方法可以適用于具有高精度的小平面。

水平測(cè)量：將水準(zhǔn)儀放在被測(cè)平面上通過(guò)，用水準(zhǔn)儀按一定方向逐點(diǎn)測(cè)量.. 經(jīng)過(guò)計(jì)算，得到了平面度誤差值。

錯(cuò)誤是測(cè)量精度的一個(gè)問(wèn)題是容易，并且在測(cè)量過(guò)程中，我們必須了解導(dǎo)致測(cè)量誤差及其解決方案。使錯(cuò)誤預(yù)防和補(bǔ)償，精確的測(cè)量結(jié)果獲得。