石墨超精密機(jī)械加工精度的外部環(huán)境，我們都知道了很高的要求，因此在石墨超精密機(jī)械加工精度或當(dāng)需要進(jìn)行一個(gè)特殊的空間，這是外界潔凈室施工的基礎(chǔ)。它是指室內(nèi)空氣潔凈室的灰塵顆粒，濕度，溫度等的一定范圍內(nèi)，其提供用于熱空氣環(huán)境和精度和石墨超精密機(jī)械加工，其支持的一個(gè)重要基礎(chǔ)設(shè)施的環(huán)境的必要環(huán)境內(nèi)的控制的條件。

進(jìn)行潔凈室的建設(shè)發(fā)展之初，要滿足環(huán)境空氣凈化的基本技術(shù)要求。

1、發(fā)塵量要小

包括盡量無(wú)粉塵進(jìn)入潔凈室和凈化區(qū)不產(chǎn)生粉塵兩個(gè)方面.. 操作人員應(yīng)穿無(wú)塵工作服，在專門設(shè)置的“風(fēng)淋室”后進(jìn)入潔凈室。 攜帶的工件和物品必須事先仔細(xì)清洗，并通過(guò)特殊的物品轉(zhuǎn)移箱送到潔凈室，以防止未經(jīng)凈化的空氣混入潔凈區(qū)。 盡量縮短操作人員的操作路線，不做多余無(wú)用動(dòng)作，限制粉塵的產(chǎn)生..

2、及時(shí)排除塵埃

潔凈室操作，只要有工作，難免會(huì)產(chǎn)生粉塵。不產(chǎn)生和灰塵停留在及時(shí)傳播到被淘汰是很重要的。為了確保這一點(diǎn)，室內(nèi)裝修應(yīng)盡量選用材料不易產(chǎn)生靜電很難積累灰塵。為了防止灰塵吸附住。抽空所述容易產(chǎn)生的灰塵顆粒，二次污染的擴(kuò)散防止粉塵形成的附近。

3、供給潔凈的空氣

所謂塵埃，一般是指0.5微米的粉塵，用普通的空氣通過(guò)過(guò)濾技術(shù)方法是不能沒(méi)有進(jìn)行數(shù)據(jù)取出的。適合中國(guó)精密和石墨超精密機(jī)械加工企業(yè)要求的潔凈室，一般用超高性能過(guò)濾器，以保證產(chǎn)品結(jié)晶環(huán)境空氣的供給。雖然潔凈室的密封性有嚴(yán)格控制要求，但是我們難免會(huì)有信息泄露，為了能夠保持與外界有一定的壓差和及時(shí)有效排除塵埃，不斷地送入潔凈的空氣是實(shí)現(xiàn)和保持潔凈度的最基本管理措施。

空氣過(guò)濾器是空氣凈化的關(guān)鍵設(shè)備.. 該過(guò)濾器的性能主要有效率、阻力、粉塵容量、風(fēng)速和過(guò)濾速度等。

過(guò)濾效率是更重要的指標(biāo)，這意味著在額定風(fēng)量時(shí)，過(guò)濾器捕獲的灰塵和里昂濾波器的情況下進(jìn)入灰塵過(guò)濾器前的量的百分比。

過(guò)濾器的阻力是另一個(gè)方面較為具有重要的指標(biāo)，隨著社會(huì)過(guò)濾器可以通過(guò)的風(fēng)量進(jìn)行大小而變化，評(píng)價(jià)時(shí)指額定風(fēng)量系統(tǒng)而言的。顯然，隨著信息過(guò)濾器的使用不同時(shí)間成本增加，其阻力也會(huì)因塵埃滯留而不斷發(fā)展加大。通常把未粘塵的新過(guò)濾器的阻力問(wèn)題成為初阻力，把需要及時(shí)更換的過(guò)濾器的阻力叫做終阻力。一般這種情況下企業(yè)規(guī)定終阻力是初阻力的兩倍。

常用的過(guò)濾器可分為粗效過(guò)濾器，中效過(guò)濾器和高效過(guò)濾器.. 粗濾器能智能濾出大顆粒粉塵，適用于一般凈化要求.. 對(duì)于中凈化要求的情況，需要設(shè)置兩個(gè)粗，中效率的過(guò)濾器；對(duì)于超凈要求的情況，至少應(yīng)設(shè)置三個(gè)過(guò)濾器，前兩個(gè)為粗，中效率過(guò)濾器，作為預(yù)過(guò)濾系統(tǒng)，以減輕末級(jí)過(guò)濾器的負(fù)擔(dān)，延長(zhǎng)高效過(guò)濾器的使用壽命